序号

项目

名称

建设

地点

建设

单位

环境影响

评价机构

项目

概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1、

四川广瑞半导体有限公司

8英寸集成电路硅外延片产业化生产项目环境影响报告书

遂宁经济技术开发区台商工业园二期

四川广瑞半导体有限公司

信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司

四川广瑞半导体有限公司新建8英寸集成电路硅外延片产业化生产项目位于遂宁经济技术开发区台商工业园二期内，项目新征地48.7亩，主要建设内容为新建1#、2#、3#生产厂房3座（其中2#、3#厂房为预留厂房，本次项目仅涉及其土建施工），购置设备300余台套，并配套建设纯水站、冷冻站、空压站、锅炉房、氢气站、硅烷站、氮气站、气体存放间、化学品库、废水处理站、危废暂存间等公辅、办公设施。项目建成后，将形成年产8英寸集成电路硅外延片120万片/年的生产能力。

项目总投资约43000万元，其中环保投资800万元，约占总投资的1.86％。

一、主要环境保护措施

气相抛光和外延生长工序产生的外延废气经机台工艺尾气处理塔（燃烧+喷淋）处理后，同酸、碱清洗工序产生的酸、碱废气一起经酸碱废气洗涤塔处理后由排气筒(高15m)达标排放；含氟酸性废气经含氟酸性废气洗涤塔（碱喷淋）处理后由排气筒（高15m）达标排放；燃气锅炉废气经排气筒（高15m）达标排放；食堂油烟经油烟净化装置处理后达标排放。报告书要求在化学品库边界外设置100m卫生防护距离，控制和减小无组织排放废气对周围环境的不利影响，该范围内现无人居分布。

项目外延炉清洗产生的含氟清洗废水以及含氟酸性废气洗涤塔排水一起进入含氟废水处理系统，经“氯化钙絮凝沉淀法”预处理后，与酸洗、碱洗、水洗工序产生的酸碱废水、酸碱废气洗涤塔和机台工艺尾气处理塔产生的酸碱废水混合后通过中和处理；食堂废水经隔油处理后与生活污水一起经预处理；上述生产和生活废水达《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准和污水处理厂进水水质要求后，通过园区污水管网进入城南第二污水处理厂，处理达《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级A标准后排入涪江。

废容器空桶、酸（碱）废液等属危险废弃物，送具有危废处置资质的单位处置；不合格硅圆片衬底由供应商回收；废包装材料、不合格硅外延片由废品回收商回收；废水处理污泥和厂区生活垃圾由当地环卫部门统一清运处理。

项目噪声源主要为空压机、风机、泵、冷却塔及工艺设备等，通过选用低噪声设备，合理布局和采取隔声、减振、消声等措施可实现厂界噪声达标。

1#生产厂房、化学品库、危废暂存间、废水处理系统、隔油池、事故池采取抗渗混凝土+HDPE膜防渗措施（渗透系数≤1×1 0-10cm/s）进行防渗处理，其中1#厂房和化学品库还采用“环氧树脂+玻璃纤维布”进行防腐；对一般固废暂存间、生活污水预处理池等采取抗渗混凝土防渗措施（渗透系数≤1×10-7cm/s）进行防渗处理，防止地下水环境污染。

项目涉及的危险化学品主要为硅烷、氯化氢、二氯氢硅、硝酸、盐酸、氢氟酸等，均不构成重大危险源，通过设置有毒有害气体探测和报警装置、化学品区域设置地沟和围堰、生产废水明管布置、设置事故应急池（兼消防废水池，180m3）等风险防范措施，有效控制环境风险的发生及其不利影响。

三、公众参与意见

工程进行了二次网上公示，没有反对意见；发放调查表100份，收回100份，发放团体调查意见1份，收回1份，没有反对意见。

四、其它部门意见

经遂宁经济技术开发区经济贸易局《企业投资项目备案通知书》（川投资备[51092415111001]0006号）同意；选址经遂宁市城乡规划管理局同意；用地经遂宁市国土资源局经济技术开发区分局同意（遂土经开分局函〔2015〕55号）。